中國日報8月25日北京電（記者 趙磊）記者從中國電子科技集團(tuán)有限公司獲悉，近日，中國電科在京舉辦集成電路核心裝備展，從“大國重器”“自主可控”“軍民融合”“智能制造”四個角度，全方面總結(jié)該集團(tuán)公司集成電路產(chǎn)業(yè)安全、自主可控方面取得的成績。
據(jù)介紹，“大國重器”展區(qū)展示了該集團(tuán)公司在集成電路關(guān)鍵設(shè)備方面的突破和成果。瞄準(zhǔn)集成電路的核心關(guān)鍵，自2009年起，中國電科在國家科技重大專項的支持下，先后突破了離子注入機(jī)、化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備(CMP)等若干攻關(guān)難度大、帶動力強(qiáng)的集成電路關(guān)鍵裝備核心技術(shù);取得了發(fā)明專利授權(quán)146項，獲得了省部級以上獎勵22項;建成了符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的離子注入機(jī)批量制造平臺、設(shè)立博士后科研工作站;CMP研發(fā)平臺獲批“北京市化學(xué)機(jī)械平坦化工藝設(shè)備工程技術(shù)研究中心”;國產(chǎn)首臺離子注入機(jī)、200mmCMP設(shè)備進(jìn)入國內(nèi)著名集成電路企業(yè)大生產(chǎn)線，先進(jìn)封裝設(shè)備具備集成服務(wù)能力，進(jìn)入國內(nèi)先進(jìn)封裝龍頭企業(yè)?！ ?/p>
“自主可控”展區(qū)展示了立足核心元器件制造自主可控，該集團(tuán)公司形成的整線裝備集成服務(wù)能力。立足自主可控，中國電科聯(lián)合國內(nèi)有關(guān)設(shè)備廠家，承擔(dān)起整線裝備國產(chǎn)化的重任。截至目前，中國電科自主研制的20余種微組裝設(shè)備達(dá)到國際先進(jìn)水平，制定了微組裝關(guān)鍵工藝設(shè)備通用規(guī)范和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)108項，改變了我國雷達(dá)用T/R組件微組裝設(shè)備依賴進(jìn)口的現(xiàn)狀，先后為眾多軍工科研生產(chǎn)骨干單位提供了多條生產(chǎn)線。同時，圍繞5G通信、相控陣?yán)走_(dá)、智能電網(wǎng)等軍民應(yīng)用領(lǐng)域第三代半導(dǎo)體器件制造需求，中國電科已形成了第三代半導(dǎo)體設(shè)備局部成套能力，并廣泛應(yīng)用?！ ?/p>
“軍民融合”展區(qū)展示了該集團(tuán)公司將軍工裝備核心技術(shù)，應(yīng)用于平板顯示、光伏、半導(dǎo)體照明、動力鋰電池等關(guān)鍵設(shè)備、工藝及相關(guān)產(chǎn)業(yè)的成效成果。國內(nèi)最大、最早的光伏整線裝備供應(yīng)商、系統(tǒng)集成商，國內(nèi)最大的平板顯示后制程設(shè)備供應(yīng)商，國內(nèi)最大的LED芯片關(guān)鍵設(shè)備供應(yīng)商和系統(tǒng)集成商，動力鋰電池材料制造裝備行業(yè)前三強(qiáng)……一系列身份印證中國電科在軍民融合發(fā)展方面的不懈努力，也記錄了國產(chǎn)集成電路裝備與工藝的逐步自主創(chuàng)新、迭代發(fā)展的過程。目前，中國電科研制的各型裝備已走進(jìn)企業(yè)、走出海外，為國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展貢獻(xiàn)力量。
“智能制造”展區(qū)展示了該集團(tuán)公司踐行“中國制造2025”戰(zhàn)略，推動裝備成套化、智能化、系統(tǒng)化發(fā)展的成果。2015年以來，集團(tuán)公司先后建成了國內(nèi)首個高效PERC光伏電池智能制造示范線、首個微電子陶瓷器件數(shù)字化車間，并雙雙入選工信部智能制造試點(diǎn)示范名單。高效光伏電池智能生產(chǎn)線，可減少生產(chǎn)人員70%以上，提高生產(chǎn)效率20%，降低運(yùn)營成本30%，降低產(chǎn)品不良品率30%，提高能源利用率15%，產(chǎn)線設(shè)備國產(chǎn)化率達(dá)90%以上。微電子陶瓷器件數(shù)字化車間可提高生產(chǎn)效率30%，降低運(yùn)營成本20%，降低產(chǎn)品不良品率20%，減少生產(chǎn)人員50%以上，產(chǎn)線設(shè)備國產(chǎn)率達(dá)95%以上。
（編輯：富文佳 邵冰琦）
